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每個超凈實(shí)驗(yàn)室房間的回風(fēng)量應(yīng)按10000級、1000級、100級的不同環(huán)境進(jìn)行設(shè)計(jì)，室內(nèi)氣流組織采用自上而下送風(fēng)的方式(百層區(qū)自上而下層流送風(fēng))。送風(fēng)經(jīng)末端高效過濾器過濾后送至室內(nèi)，回風(fēng)通過側(cè)墻出風(fēng)口返回空調(diào)機(jī)組。同時考慮回風(fēng)過濾網(wǎng)材質(zhì)?；仫L(fēng)管道應(yīng)防止酸堿腐蝕，尤其是氫氟酸腐蝕。

超凈實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)應(yīng)綜合考慮機(jī)柜排風(fēng)、室內(nèi)漏風(fēng)和新風(fēng)補(bǔ)充，滿足室內(nèi)環(huán)境要求。更衣室入口和綜合分析室入口可自動關(guān)閉。超凈實(shí)驗(yàn)室應(yīng)預(yù)留設(shè)備門，所有室內(nèi)門應(yīng)考慮設(shè)備的出入口。

超凈間室外新風(fēng)進(jìn)入室內(nèi)需要經(jīng)過粗、中、次、過濾，在新風(fēng)出口安裝過濾網(wǎng)，防止雜物進(jìn)入;超凈實(shí)驗(yàn)室的補(bǔ)充風(fēng)量應(yīng)充分考慮潔凈室各機(jī)柜的**大排風(fēng)量和門口的漏風(fēng)量，以保障潔凈室的正壓運(yùn)行，防止粉塵的交叉污染。

在超凈實(shí)驗(yàn)室風(fēng)機(jī)的設(shè)計(jì)中，初效和中效過濾裝置應(yīng)考慮備用設(shè)計(jì)，以便在出現(xiàn)故障時更換和啟動。夏季空調(diào)機(jī)組的除濕效果應(yīng)該達(dá)到50%RH。

超凈實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的水、電、氣、風(fēng)、溫度、濕度、壓差等參數(shù)都可以通過操作面板進(jìn)行監(jiān)控和調(diào)節(jié)。操作面板應(yīng)設(shè)置在實(shí)驗(yàn)室便于操作和監(jiān)控的區(qū)域?？勺詣佑涗涳L(fēng)速、風(fēng)量、壓差、溫濕度等數(shù)據(jù)并保存上傳至實(shí)驗(yàn)室管理系統(tǒng)。

實(shí)驗(yàn)室的所有管道和空調(diào)機(jī)組應(yīng)設(shè)計(jì)有額外的減振裝置和措施，以避免運(yùn)行時的振動和噪音，減少運(yùn)行環(huán)境對儀器和人員的影響。

超凈實(shí)驗(yàn)室不同**潔凈區(qū)之間的靜壓差不小于15Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不小于10Pa。